MEGATO公司半導體工程用石英制品$$石英制品$$在半導體工程中使用的石英產品，特別要求品質嚴格。本公司經營的Wok Quatz公司生產的石英制品是ISO 9002認證工廠生產的高質量、高精度的產品。備齊各種石英。

MEGATO真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S$$真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S$$MS-1MS-2S是Books公司生產的電容表配備了SetPoit繼電器的顯示器和電源供應單元?？梢赃B接一臺或兩臺電容表。內置2個或4個獨立動作的定點繼電器。連接帶有溫度支架輸出的電容表時，可以顯示溫度支架。

MEGATO逆流防止閥M-W50泵用閥$$逆流防止閥M-W50,M-W30H,M-W40H$$安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產生的反應產物和粉塵在Chambe內和排氣系統中累積過程中如果泵緊急停止的話，會引起Chambe內粉塵的飛揚和管道等造成的Chambe內產品污染。通過使用Chambe防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統，防止粉

MEGATO閥門壓力控制器AP-420$$寬帶閥040（W40）,050（W50）,063（W63）,075（W80） $$在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現出多樣化的趨勢，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發的是這個寬帶閥門。$$寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～1

MEGATO公司蝶泳閥門M30ITV000S銷售$$非加熱插槽蝶泳閥門M15KFVSP572,M30ITV000S,M18KFVSF605 $$通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應，通過與AP系列控制器電容計并用，可以在半導體等工藝中獲得高速響應、真空壓力控制。

CMCP通用型真空計MEGATO閥門$$CMCP系列通用型真空計$$CMCAP系列計量器是堅固的全焊接構造以Icoel隔膜為特征的小型經濟型非加熱電容器。